壓阻式壓力傳感器的特性實(shí)驗(yàn) 發(fā)布時(shí)間:2024-12-17 |
一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?br style="padding: 0px; margin: 0px;" />
1、了解擴(kuò)散硅壓阻式傳感器測量壓力的方法。
2、掌握擴(kuò)散硅壓阻式傳感器及其轉(zhuǎn)換電路的工作原理。
二、實(shí)驗(yàn)所用單元
壓阻式壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器轉(zhuǎn)換電路板、橡皮氣囊、儲氣箱、三通連接導(dǎo)管、壓力表、位移臺架、直流穩(wěn)壓電源、數(shù)字電壓表
三、實(shí)驗(yàn)原理及電路
擴(kuò)散硅式壓阻式壓力傳感器,在單晶硅的基片擴(kuò)散出P型或N型電阻條,接成電橋。在壓力作用下根據(jù)半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng),基片產(chǎn)生應(yīng)力,電阻條的電阻率產(chǎn)生變化,引起電阻的變化,將這一變化引入測量電路,通過輸出電壓可以測量出其所受的壓力大小。測量電路圖3-1所示,其中RP1用于調(diào)節(jié)放大倍數(shù),RP2用于調(diào)節(jié)零點(diǎn)。
圖3-1 壓力傳感器實(shí)驗(yàn)電路圖
四、實(shí)驗(yàn)步驟
1、固定好位移臺架,將壓力傳感器放在臺架的圓孔中。
2、將壓力傳感器上的插頭連接至轉(zhuǎn)換電路板上的插座。轉(zhuǎn)換電路板的輸出連接至數(shù)字電壓表。
3、按照圖3-2連接管路。
圖3-2 壓力傳感器實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)示意圖
4、打開橡皮囊上的單向閥,接通電源,調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)換電路板上的RP2使輸出電壓為零。
5、擰緊單向閥,輕按加壓皮囊,注意不要用力過大,使壓力表顯示30Kpa,調(diào)節(jié)RP1使輸出電壓為3V。
6、重復(fù)步驟4和步驟5,使得壓力為0時(shí)輸出電壓為0V,壓力為30Kpa時(shí),輸出電壓為3V。
7、擰緊單向閥,開始加壓,每上升2Kpa讀取輸出電壓,并記入下表中。
表 3-1
五、實(shí)驗(yàn)報(bào)告
1、根據(jù)表3-1的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),畫出壓力傳感器的特性曲線,并計(jì)算精度與非線性誤差。
2、如果測量真空度,需要對本實(shí)驗(yàn)裝置進(jìn)行怎樣的改進(jìn)? |
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